納米壓痕儀是一種用于微納米尺度材料力學性能測試的高精度儀器，它通過記錄載荷與壓入深度的關系，能夠測量硬度、彈性模量、斷裂韌性等多種力學參數，廣泛應用于半導體、涂層、生物材料等領域的研發與質量控制，是我司上海千實精密機電科技有限公司自主研發生產的測試設備，性價比高，售后服務齊全。

技術原理：

深度敏感壓痕技術，通過金剛石壓頭對樣品施加可控載荷，并同步高精度測量壓入深度，生成載荷-位移曲線，進而基于力學模型計算性能參數。

符合標準：

ISO 14577-1:2015 金屬材料.硬度和材料參數的儀器壓痕試驗.第1部分:試驗方法

ISO 14577-2:2015 金屬材料.硬度和材料參數的儀器壓痕試驗.第2部分:試驗機的檢定和校準

ISO 14577-3:2015 金屬材料.硬度和材料參數的儀器壓痕試驗.第3部分:硬度標準塊的校準

ASTM E2546-2023 儀器壓痕試驗的標準實施規程

技術參數：

1.靜態加載模式最大加載載荷：80mN /400mN/1800mN/4800mN

2.動態加載模式DMA：0.1-100Hz

3.載荷分辨率：3nN

4.可實現的最小載荷：0.1mN

5.加載速率：0.04-12000mN/min

6.最大壓入深度(電容傳感器)： 250μm/1mm

7.位移分辨率：0.0003nm

8.快速壓痕功能：做100個mapping點只需5分鐘

9.熱飄逸<0.05nm/s(室溫條件下)

應用領域：

半導體與微電子：

用于評估芯片中薄膜的硬度、彈性模量，以及銅柱凸點等互連結構的界面結合強度。

涂層與表面工程：

檢測類金剛石涂層、PVD/CVD鍍層等硬質或裝飾性涂層的硬度、耐磨性及膜基結合力。

生物與醫用材料：

表征骨組織、牙釉質、水凝膠、植入材料等軟組織和生物材料的局部力學性能，部分儀器專為液體環境中的生物樣品測試設計。

航空航天與汽車：

評估陶瓷基復合材料、高溫合金、剎車片涂層等關鍵部件的力學性能。

新材料研發：

用于納米復合材料、高分子聚合物、MEMS器件等新型材料的性能研究。

上海千實精密機電科技有限公司成立于2012年，專注于研發、設計及生產紡織測試儀器，為學術研究單位及檢測機構提供紡織測試儀器和服務，上海千實是目前國內較有競爭力和研發實力的紡織檢測儀器廠家之一，研發團隊由一群經驗豐富的工程師組成，我們本著全心全意為客戶服務，努力推動紡織檢測儀器技術革新而努力。